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凈化車間二次配技術(shù):真空系統(tǒng)的基礎(chǔ)知識(shí)介紹

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日期:2020-11-12


真空所謂“真空”,是指在給定的空間內(nèi),壓強(qiáng)低于101325帕斯卡(也即一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng)約101KPa)的氣體狀態(tài)。

國(guó)際真空行業(yè)通用的“真空度”,也是最科學(xué)的,是用絕對(duì)壓力標(biāo)識(shí);指的是“極限真空、絕對(duì)真空度、絕對(duì)壓力”,但“相對(duì)真空度”(相對(duì)壓力、真空表表壓、負(fù)壓)由于測(cè)量的方法簡(jiǎn)便、測(cè)量?jī)x器非常普遍、容易買到且價(jià)格便宜,因此也有廣泛應(yīng)用。

理論上二者是可以相互換算的,兩者換算方法如下:

相對(duì)真空度 = 絕對(duì)真空度(絕對(duì)壓力)- 測(cè)量地點(diǎn)的氣壓


真空區(qū)域劃分(GB3163)

 

壓力單位表

 

實(shí)現(xiàn)和應(yīng)用

在地球表面,真空通常是對(duì)特定的密閉空間抽氣來(lái)獲得,通常用來(lái)抽氣的設(shè)備有容積泵、分子泵、氣體捕集泵或真空發(fā)生器等。真空應(yīng)用是指利用稀薄氣體的物理環(huán)境完成某些特定任務(wù)且應(yīng)用十分廣泛:

利用真空制造產(chǎn)品(如電子管)

使用真空環(huán)境作為工藝(如真空鍍膜)

真空環(huán)境提純(如冶煉中真空電弧重熔)

利用真空的物理特性隔熱(如太陽(yáng)能發(fā)電所使用的真空管)等

 




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